A Diâmetro da sonda, metalização da amostra, filamento de tungstênio e vácuo de 10-4Pa.
B Diâmetro da sonda, metalização da amostra, voltagem de aceleração e vácuo em torno de 10-4Pa
C Filamento de tungstênio, diâmetro da sonda, voltagem de aceleração e corrente de elétrons
D Controle de astigmatismo, diâmetro da sonda, filamento de LaB6e convergência do feixe de elétrons
E Diâmetro da sonda, corrente de elétrons, convergência da sonda de elétrons e voltagem de aceleração