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Um espectrômetro de massas utiliza diversos tipos de sensores de pressão, que monitoram linhas de vácuo, válvulas e pressão, com faixas de uso e aplicações típicas.
O sensor de pressão mais indicado para a região de interface, pois opera entre 10-6 e 103 mbar e não depende do tipo de gás, é o

  • manômetro de capacitância (Baratron).
  • Pirani.
  • Catodo frio (Penning / Inverted magnetron).
  • Spinning Rotor Gauge(SRG).
  • Catodo quente(Bayard–Alpert / IGA).
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