A São os elétrons que atravessam a amostra e são detectados pelo detector posicionado abaixo do estágio da amostra.
B Os elétrons são ejetados da amostra devido a colisões inelásticas entre os elétrons primários e os elétrons da banda de condução de amostras metálicas ou da banda de valência em semicondutores e isolantes.
C São elétrons provenientes da camada externa da amostra que são fracamente ligados e recebem energia cinética suficiente durante o espalhamento inelástico do feixe primário.
D São produzidos por uma sequência de colisões elásticas e inelásticas entre os elétrons do feixe primário e os átomos da amostra.
E Uma das suas principais características é a baixa energia cinética de escape a partir da amostra analisada.