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#3361850

Durante a varredura em um MEV, alguns danos podem ser causados na amostra. Isso ocorre, principalmente, pois:

  • a irradiação com o feixe de elétrons sobre a amostra resulta na perda de energia do feixe na forma de calor.
  • ocorre principalmente pelo mau posicionamento do espécime analisado no estágio da amostra.
  • é frequente em amostras metálicas, que constantemente derretem com a elevada energia do feixe de elétrons.
  • Pode ser minimizado com a diminuição da distância de trabalho (work distance - WD).
  • Pode ser minimizado com a diminuição do diâmetro da sonda de elétrons (spot size).
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