A O detector de energia dispersiva de raios X e o detector de comprimento de onda de raios X geram espectros de energia característicos dos elementos químicos da amostra.
B O EDS (Energy-dispersive Spectrometers) pode ser utilizado em combinação com o sistema WDS (Wavelength-dispersive Spectrometers).
C Em Microscópios Eletrônicos de Varredura ambientais, o ambiente saturado de átomos ou a presença de moléculas de gases na câmara de detecção impedem a dissipação da carga elétrica.
D OSi(Li) EDSe oGe (HPGe) EDSsão detectores de raios X de estado sólido.
E O espectro elementar obtido por EDS (Energy-dispersive Spectrometers) apresenta picos característicos que identificam os diferentes elementos químicos das amostras.