A secundários de baixa energia, que resultam da interação do feixe eletrônico com a amostra.
B primários de baixa energia, que resultam da interação do feixe eletrônico com a amostra.
C retroespalhados com energia, que varia entre 50eV até o valor da energia do elétron primário.
D transmitidos, que sofrem espalhamento elástico ou de Rutherford, após a interação com a amostra.
E absorvidos, que perdem toda sua energia na amostra e geram uma corrente elétrica no porta-amostra.