Um sistema de inspeção óptica de alta precisão em semicondutores utiliza um feixe de luz de uma fonte
coerente que passa por um polarizador linear e é direcionado para uma amostra. A luz refletida pela superfície
da amostra é então focalizada em uma rede de difração. O padrão de luz resultante é capturado por um
detector CCD, onde a análise das franjas de brilho e escuridão permite inferir propriedades nanométricas do
material. A interação dos fenômenos ópticos nesse processo é:
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